Wysoce automatyczna maszyna do powlekania CVD RDE 530L z dwiema komorami reakcyjnymi

Wysoce automatyczny piec do powlekania CVD RDE 530L z dwiema komorami reakcyjnymi

1.EkwipunekWytrzymałośćs

1.1 Tryb automatyczny.Zgodnie z ustawieniami procesu poszczególne komponenty i procesy są sterowane automatycznie.Sterowanie automatyczne obejmuje przełącznik zaworów, sterowanie przepływem gazu procesowego, sterowanie przepływem cieczy procesowej, sterowanie ciśnieniem w reaktorze, sterowanie temperaturą pieca grzewczego i elektrycznego pasa grzewczego itp. Bez interwencji człowieka w całym procesie.Proces pracy automatycznej realizuje automatyczne przetwarzanie alarmów.Zgodnie z różnymi typami alarmów, automatycznie przejdzie w tryb alarmu, aby chronić produkty w piecu.Po wyzwoleniu alarmu można go ręcznie przywrócić do stanu sprzed alarmu.

1.2.Proces jest monitorowany przez cały czas trwania procesu, wszystkie dane z czujników i status zaworów są zapisywane w danych historycznych, które można przeglądać w dowolnym momencie.

1.3.Tryb ręczny.Istnieje blokada bezpieczeństwa, która automatycznie realizuje blokadę w zależności od rodzaju gazu i temperatury wewnątrz reaktora, a reaktora nie można otworzyć do woli.Tryb ręczny ustawiany jest za pomocą jednego przycisku, np. odkurzanie, H₂czystka, n₂czyścić itp., nie ma potrzeby ręcznego przesuwania poszczególnych zaworów i pomp próżniowych.

1.4.Dane alarmowe są automatycznie zapisywane, a dane historyczne można odzyskać w dowolnym momencie.

2. Fabryczne środowisko pracy

2.1 Wilgotność i temperatura otoczenia

2.1.1 Wilgotność otoczenia: <90% (przy +35°C)

2.1.2 Temperatura otoczenia: 5 ℃ ~ 40 ℃

2.2 Zasilanie

2.2.1 Zasilanie: 380V±10%, 50Hz, trójfazowy układ pięcioprzewodowy

2.2.2 Zasilanie sterowania: 210V~250V, 50Hz, jednofazowe

2.3 Źródło powietrza

2.3.1 Ciśnienie sprężonego powietrza: 6-7bar,

2.3.2 Ciśnienie ar: 2-3bar,

2.3.3 H₂ciśnienie i przepływ: 2-3bar, 0-75slm

2.3.4 N₂ciśnienie i przepływ: 2-3bar, 0-50slm

2.3.5 Ciśnienie i przepływ CO: 2—3bar, 0-2,5slm

2.3.6 CO₂ciśnienie i przepływ: 2-3bar, 0-5slm

2.3.7 CH₄ciśnienie i przepływ: 2-3bar, 0-5slm

2.3.8 Ciśnienie i przepływ HCl: 2-3bar, 0-5slm

2,3,9 godz₂S ciśnienie i przepływ: 2-3bar, 0-0.4slm

2.4 Źródło wody

2.4.1 Ciśnienie wlotowe wody chłodzącej: 2-3 bary, zalecana jest czysta woda.Temperatura wynosi 13-16°C.(Klienci muszą być wyposażeni w schłodzoną wodę), przepływ wody chłodzącej, 5m³/h.

2.4.2 Awaryjne rezerwowe źródło wody (do przygotowania przez użytkownika)

Ciśnienie: 1,5 bara — 2 bary.