Workingspace: 12-1000L
Max.WorkingPresureMax.workingsure (MPA): 1、2、6、10、20
Maksymalna temperatura robocza: 1300℃
Temperatura pracy: 1200℃
Szczegóły pakowania: Drewniane skrzynki
Czas dostawy: 5-6 miesięcy
Strefa grzewcza: Single/podwójne/multi
Pomiar temperatury: W-re 5/26 Thermocouple+Pirometr w podczerwieni
Wielkość: niestandardowe
Gaz wejściowy: N2,Ar,H2
Maximum static pressure: 1500/2100/2300℃
Dimension of constant temperature zone: Ф160x160 mm/Ф160x200 mm
Maksymalna temperatura pracy (℃): 1300
Temperature uniformity(℃): ≤±3
Maksymalna temperatura robocza: 1800℃
Maksymalne ciśnienie robocze: 9,8 bara
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Czas chłodzenia: ≤1 h/4H/5H/6H/8H (pusty piec, chłodzenie od temperatury spiekania 1450-100 ° C) Temperatura wody ≤26
Wielkość: niestandardowe
Podłoża powłokowe: Metal, ceramika, szkło itp.
Przyczepność powłoki: Silny
Prekursory i gazy technologiczne: TICL4 、 ALCL3 、 CH3CN 、 H2 、 N2 、 AR 、 CH4 、 CO 、 CO2 、 HCl 、 H2S
Rozmiar urządzenia do powlekania: Dostosowywalne
Metoda powlekania: Chemiczne osadzanie pary (CVD)
Całkowita moc: Około 40/50/60/80 kW
Całkowita moc: Około 40/50/60/80 kW
Podłoża powłokowe: Metal, ceramika, szkło itp.
Czas chłodzenia: ≤1 h/4H/5H/6H/8H (pusty piec, chłodzenie od temperatury spiekania 1450-100 ° C) Temperatura wody ≤26
Maksymalna temperatura: 2000℃
Prekursory i gazy technologiczne: TICL4 、 ALCL3 、 CH3CN 、 H2 、 N2 、 AR 、 CH4 、 CO 、 CO2 、 HCl 、 H2S
Podłoża powłokowe: Metal, ceramika, szkło itp.
Wyślij do nas zapytanie