Piece do powlekania CVD węglem krzemowym do podłoża grafitowego lub pierścienia etyrowego

Piece do powlekania CVD węglem krzemowym do podłoża grafitowego lub pierścienia etyrowego

Urządzenia te są stosowane do osadzania węglanu krzemowego na powierzchni materiału na bazie węgla/ceramiki, szczególnie dla podłoża półprzewodnikowego i pierścienia etycznego.

Wykorzystuje się w tym celu:Na powierzchni podłoża rośnie warstwa folii krystalicznej, która jest warstwą epitaksjalną.

Procesy płytkowe, takie jak litografia i implantacja jonów, są przeprowadzane na warstwie epitaksyalnej.Podstawa epitaksyalna wykonana z grafitu nie może oczywiście spełniać bardzo wysokich wymagań czystości w procesie półprzewodnikowym..

Z tego powodu, musimy użyć chemicznego osadzenia pary na bazie do owinięcia warstwy gęstego folii z węglanu krzemu.

• Standardy projektowania

Sprzęt został zaprojektowany zgodnie z wymogami Biura Nadzoru Jakości i Technicznego dotyczącymi naczyń ciśnieniowych i jest kwalifikowany po badaniu ciśnienia i wysyłaniu.Projekt i konstrukcja elektryczna spełniają normy krajowe.

• Badania wstępne instalacji i wstępna akceptacja

Sprzęt jest w pełni montowany w naszej fabryce, w tym wszystkie rurociągi, rurociągi próżniowe, rurociągi gazowe, rurociągi wody chłodzącej, rurociągi sprężonego powietrza itp.Badania wstępne mogą być przeprowadzone po instalacjiW miejscu pracy klienta, inne rurociągi niż urządzenia są dostarczane przez klienta. Instalacja obejmuje również podłączenie wszystkich kabli.główny kabel łączący szafę zasilania jest dostarczany przez klientaPo instalacji przeprowadzamy badania próżniowe i ciśnieniowe całego sprzętu oraz badania funkcjonalności mechanicznej i elektrycznej.

• Rozbiórka i transport

Sprzęt zostanie rozłożony na kilka dużych części, zapakowany w sposób standardowy i załadowany do pojazdu transportowego.

• Instalacja i uruchomienie na miejscu klienta

Inżynier Redel poprowadzi zespół do zakończenia uruchomienia, spalania prób produktu i innych prac w ciągu 20 dni roboczych.Klient musi dokonać odpowiednich przygotowań i zapewnić niezbędne narzędzia, takich jak sprzęt podnoszący i podnoszący oraz zapewnienie wsparcia personelu instalacyjnego (zalecane jest zatrudnienie 1 personelu mechanicznego i 1 personelu elektrycznego).

• Ostateczne przyjęcie

Po zainstalowaniu i uruchomieniu urządzenie może zostać ostatecznie przyjęte zgodnie z wymogami umowy technicznej.

• Szkolenie

Nasi inżynierowie obsługi posprzedaży zapewnią systematyczne i kompletne szkolenie na miejscu, w tym obsługę, konserwację, rozwiązywanie problemów itp.

• Dostarczanie danych technicznych

W celu zapewnienia bezpiecznej eksploatacji i konserwacji urządzeń klientom będą przekazywane następujące dane techniczne:

1. Układ instalacji sprzętu

2. Podręcznik obsługi

3Lista części zamiennych

4Rysunki elektryczne

5. Podręcznik części