HTCVD Silicon Carbide ((CVD SIC) epitaxy growth oven

To urządzenie jest stosowane do powlekania węglem krzemowym materiałów na bazie węgla/ceramiki,zwłaszcza osadzenie węglika krzemu na powierzchni półprzewodnikowego podłoża epitaksyjnego i pierścienia etsującego.

Podstawa epitaksyalna, wysokiej czystości dysk grafitowy, z okrągłym rowką do mocowania podłoża płytki.Po umieszczeniu ich w piecu na powierzchni podłoża, która jest warstwą epitaksjalną, wyrosnie warstwa folii krystalicznej.Procesy wykonywane na płytkach, takie jak litografia i implantacja jonów, są wykonywane na warstwie epitaksyalnej.

Podstawa epitaksyalna wykonana z grafitu nie może oczywiście spełniać bardzo wysokich wymagań czystości w procesie półprzewodnikowym.Z tego powodu, musimy użyć chemicznego osadzenia pary na bazie do owinięcia warstwy gęstego folii z węglanu krzemu.

Opcjonalna konfiguracja

1. Drzwi pieca: typu wiertnicze/hydrauliczne/ręczne; otwieranie huśtawkowe/rozwijanie równoległe ((drzwi wielkogabarytowych pieca); ręczne/automatyczne zamknięcie
2Naczynie do pieca: cała stal węglowa/warstwa wewnętrzna stali nierdzewnej/cała stal nierdzewna
3. Strefa gorąca pieca: miękkie filce węglowe/miękkie filce grafitowe/twardie filce kompozytowe/CFC
4Element grzewczy i muffle: grafit prasowy izostatyczny/grafit o wysokiej czystości, wytrzymałości i gęstości/grafit o drobnej wielkości
5. system gazowy procesowy: przepływozmiar objętościowo-masowy;
6. Termokopła: typ K/typ N/typ C/typ S

• Standardy projektowania

Sprzęt został zaprojektowany zgodnie z wymogami Biura Nadzoru Jakości i Technicznego dotyczącymi naczyń ciśnieniowych i jest kwalifikowany po badaniu ciśnienia i wysyłaniu.Projekt i konstrukcja elektryczna spełniają normy krajowe.

• Badania wstępne instalacji i wstępna akceptacja

Sprzęt jest w pełni montowany w naszej fabryce, w tym wszystkie rurociągi, rurociągi próżniowe, rurociągi gazowe, rurociągi wody chłodzącej, rurociągi sprężonego powietrza itp.Badania wstępne mogą być przeprowadzone po instalacjiW miejscu pracy klienta, inne rurociągi niż urządzenia są dostarczane przez klienta. Instalacja obejmuje również podłączenie wszystkich kabli.główny kabel łączący szafę zasilania jest dostarczany przez klientaPo instalacji przeprowadzamy badania próżniowe i ciśnieniowe całego sprzętu oraz badania funkcjonalności mechanicznej i elektrycznej.

• Rozbiórka i transport

Sprzęt zostanie rozłożony na kilka dużych części, zapakowany w sposób standardowy i załadowany do pojazdu transportowego.

• Instalacja i uruchomienie na miejscu klienta

Inżynier Redel poprowadzi zespół do zakończenia uruchomienia, spalania prób produktu i innych prac w ciągu 20 dni roboczych.Klient musi dokonać odpowiednich przygotowań i zapewnić niezbędne narzędzia, takich jak sprzęt podnoszący i podnoszący oraz zapewnienie wsparcia personelu instalacyjnego (zalecane jest zatrudnienie 1 personelu mechanicznego i 1 personelu elektrycznego).

• Ostateczne przyjęcie
Po zainstalowaniu i uruchomieniu urządzenie może zostać ostatecznie przyjęte zgodnie z wymogami umowy technicznej.

• Szkolenie
Nasi inżynierowie obsługi posprzedaży zapewnią systematyczne i kompletne szkolenie na miejscu, w tym obsługę, konserwację, rozwiązywanie problemów itp.

• Dostarczanie danych technicznych

W celu zapewnienia bezpiecznej eksploatacji i konserwacji urządzeń klientom będą przekazywane następujące dane techniczne:

1. Układ instalacji sprzętu
2. Podręcznik obsługi
3Lista części zamiennych
4Rysunki elektryczne
5. Podręcznik części

Częste pytania

Jest pan fabryką czy firmą handlową?

P: Czy jest pan firmą produkcyjną lub handlową?
Odpowiedź: Jesteśmy wiodącym chińskim producentem pieców próżniowych o wysokiej temperaturze z ponad 10-letnim doświadczeniem.

Macie usługi dostosowania lub OEM?

P: Czy macie usługi dostosowania lub OEM?
O: Tak, mamy potężny zespół badawczo-rozwojowy i sprzęt zaawansowanego technologii. Możemy więc dostarczać nie tylko regularny model, ale również dostosowany piec jako odbiór naszych klientów.

Co masz na to?

P: Jaka jest twoja zaleta?
A:

Szybka odpowiedź na pańskie zapytanie.

l Wysoka kontrola jakości

l Stabilny łańcuch dostaw

l W terminie dostawy

l Doskonała obsługa posprzedażowa