Miejsce pochodzenia:
Chiny
Nazwa handlowa:
Ruideer
Orzecznictwo:
CE
Numer modelu:
630.530.430
Pieczar do powlekania odparowania chemicznego z prekursorami TiCL4, AICL3 i gazami procesowymi
CVD Coating Machine jest najnowocześniejszą techniką powlekania próżniowego, która wykorzystuje sprzęt osadzenia chemicznego do osadzenia cienkiej warstwy materiału na powierzchni podłoża.Ten rodzaj urządzeń do powlekania powierzchni oferuje szeroki zakres prędkości powlekaniaSystem grzewczy jest elektryczny, zapewnia również precyzyjne i jednolite ciśnienie powłoki, o stabilności ciśnienia wynoszącej -± 2mbar.który zapewnia stabilną temperaturę podłoża dla optymalnych wyników powlekania. Cały proces jest kontrolowany przez system PLC, który zapewnia precyzyjną grubość powłoki i jednolitość.
Różnice między procesami ALD a CVD:
ALDjest techniką chemicznego osadzenia par, która opiera się na samoograniczającej się reakcji powierzchniowej
Filmy składowe po jednej warstwie atomowej
Wymaganie niższych temperatur
Użyteczne w produkcji półprzewodników i układów scalonych, cieńkowłosowych ogniw słonecznych oraz w produkcji wysokowydajnych powłok do komponentów optycznych.
CVDjest powszechnie stosowaną technologią przetwarzania materiałów, w której cienkie folie tworzone są na podgrzanym podłożu poprzez reakcję chemiczną prekursorów fazy gazowej.
Filmy składowe o szerszym zakresie grubości
Wymagają wyższych temperatur
Używane w takich dziedzinach jak optyka, mikroelektronika i nauka o materiałach, gdzie pomaga w wytwarzaniu cienkich folii i powłok dla urządzeń elektronicznych, osadzaniu powłok na soczewkach i lusterkach,i syntezy różnych materiałów.
| Model wyposażenia | CVD430-1250 | CVD430-1600 | CVD530-1250 | CVD530-1600 | CVD630-1250 | CVD630-1600 |
| Przestrzeń rzeczywista ((mm) | Φ400X1250 | Φ400X1600 | Φ500X1250 | Φ500X1600 | Φ600X1200 | Φ600X1600 |
| Moc ogrzewania ((KW) | 39 | 48 | 45 | 55 | 65 | 80 |
| Ilość strefy ogrzewania | 4 | 5 | 4 | 5 | 4 | 5 |
| Odległość od urządzeń ((mm) | 6000*5800*4800 | 6000*5800*5100 | 6500*6000*4800 | 6500*6000*5100 | 7200*6200*4800 | 7200*6200*5100 |
| Temperatura procesu(°C) | 700-1050 | |||||
| Precursory i gazy procesowe | TICL4,AICL3, CH3CN,H2, N2Ar, CH, CO, CO2HCI, H2S | |||||
| Rodzaje powłok | TIC,TIN,TICN,a-AL2O3K-AI2O3 | |||||
| Opcjonalne wyposażenie |
1. Wyłączony neutralizator gazu (w tym urządzenie ewakuacyjne); 2. Dział gazowy drugiego stopnia (włączając rurociąg); 3. stacja benzynowa (w tym rurociąg) |
|||||
• Standardy projektowania
Sprzęt został zaprojektowany zgodnie z wymogami Biura Nadzoru Jakości i Technicznego dotyczącymi naczyń ciśnieniowych i jest kwalifikowany po badaniu ciśnienia i wysyłaniu.Projekt i konstrukcja elektryczna spełniają normy krajowe.
• Badania wstępne instalacji i wstępna akceptacja
Sprzęt jest w pełni montowany w naszej fabryce, w tym wszystkie rurociągi, rurociągi próżniowe, rurociągi gazowe, rurociągi wody chłodzącej, rurociągi sprężonego powietrza itp.Badania wstępne mogą być przeprowadzone po instalacjiW miejscu pracy klienta, inne rurociągi niż urządzenia są dostarczane przez klienta. Instalacja obejmuje również podłączenie wszystkich kabli.główny kabel łączący szafę zasilania jest dostarczany przez klientaPo instalacji przeprowadzamy badania próżniowe i ciśnieniowe całego sprzętu oraz badania funkcjonalności mechanicznej i elektrycznej.
• Rozbiórka i transport
Sprzęt zostanie rozłożony na kilka dużych części, zapakowany w sposób standardowy i załadowany do pojazdu transportowego.
• Instalacja i uruchomienie na miejscu klienta
Inżynier Redel poprowadzi zespół do zakończenia uruchomienia, spalania prób produktu i innych prac w ciągu 20 dni roboczych.Klient musi dokonać odpowiednich przygotowań i zapewnić niezbędne narzędzia, takich jak sprzęt podnoszący i podnoszący oraz zapewnienie wsparcia personelu instalacyjnego (zalecane jest zatrudnienie 1 personelu mechanicznego i 1 personelu elektrycznego).
• Ostateczne przyjęcie
Po zainstalowaniu i uruchomieniu urządzenie może zostać ostatecznie przyjęte zgodnie z wymogami umowy technicznej.
• Szkolenie
Nasi inżynierowie obsługi posprzedaży zapewnią systematyczne i kompletne szkolenie na miejscu, w tym obsługę, konserwację, rozwiązywanie problemów itp.
• Dostarczanie danych technicznych
W celu zapewnienia bezpiecznej eksploatacji i konserwacji urządzeń klientom będą przekazywane następujące dane techniczne:
1. Układ instalacji sprzętu
2. Podręcznik obsługi
3Lista części zamiennych
4Rysunki elektryczne
5. Podręcznik części
Częste pytania
P: Czy jest pan firmą produkcyjną lub handlową?
Odpowiedź: Jesteśmy wiodącym chińskim producentem pieców próżniowych o wysokiej temperaturze z ponad 10-letnim doświadczeniem.
P: Czy macie usługi dostosowania lub OEM?
O: Tak, mamy potężny zespół badawczo-rozwojowy i sprzęt zaawansowanego technologii. Możemy więc dostarczać nie tylko regularny model, ale również dostosowany piec jako odbiór naszych klientów.
P: Jaka jest twoja zaleta?
A:
Szybka odpowiedź na pańskie zapytanie.
l Wysoka kontrola jakości
l Stabilny łańcuch dostaw
l W terminie dostawy
l Doskonała obsługa posprzedażowa
Wyślij do nas zapytanie
